第269章 讓人振奮的天才構想【求訂閱】
「穩態微聚束光源確實能用於光刻，不過我們如今只是實驗驗證了這一概念，距離具體的應用階段恐怕還需要大量的實驗研究。」
教授辦公室內，趙翔聽完徐源的話，雖心中非常意動卻也不得不擺出事實。
作為自己提出並成功驗證的概念，他當然希望能為國家解決眼下困境。
畢竟目前國內半導體行業是個什麼情況，只要接觸網絡都會知道。
確實急需解決高端晶片製造問題。
海外阿麥斯公司，使用的方法是用高能電子束轟擊特定成分的氣體，從而對晶圓片進行蝕刻，但國內現在的技術還做不出這種東西。但藉助穩態微聚束，可以直接把電子束從零速度開始加速。
直到加速到很高很高。
那麼所有速率的電子束全都有了，要用哪個速率的就放到特定的位置就行。
原本同步輻射在加速器領域，是個相對來說比較討厭的事情。
因為會白白消耗加速器的能量，拖累粒子的進一步加速。
但若用於光刻的話，則剛好能利用這個效應來製造特定波長的光。
可以說能稱得上腦洞大開。
如果這座光刻工廠真能建成，那麼其效率將遠不是普通光刻機能比的。
絲毫不誇張的講，可以同時製造不同規格的晶片。
就好比有人要六十度的水，但精準燒不出來，那就放一條很長的管道。
讓一百度的水流過管道逐漸冷卻，要多少度的水在相應的位置直接接就行。
不過理念歸理念，如何讓這些設想變成現實，還需要深入的研究。
以及大量實驗。
徐源如何不知道趙翔的憂慮，畢竟現在對穩態微聚束的研究確實不成熟。
若是晚上幾年再啟動光刻工廠項目，或許能更有底氣自信些，不至於像現在這樣，顯得有些畏手畏腳。
奈何有時候計劃趕不上變化。
形勢不等人。
眼下國內對5G領域的研究，因高端晶片問題，前進的路基本半廢。
既然決定了要自行解決高端晶片製造技術，那速度上就必須儘可能的快。
否則對5G的發展就會落後國際。
哪怕到時候再奮起直追，也會面對各樣的問題。
正所謂落後就要挨打，關於這點可以說深有體會。
所以肯定不能把解決當下困境的希望，全部放在國產極紫外光刻機上。
明知道有新的方向道路，不管最終能否成功，也要盡全力嘗試。
念頭停留在這裡，徐源整個人反倒放鬆很多。
半點沒有和趙翔客氣。
拉來椅子坐到辦公桌對面，自己倒了杯水，然後才看向趙翔繼續往下說。
「傳統的極紫外光刻機技術，很多專利都已經被阿麥斯公司掌握，我們想要研究出國產極紫外光刻機，確實是非常大的挑戰。」
「但誰規定製造高端晶片，就必須要用極紫外光刻機才行。」
「使用穩態微聚束光源建造光刻工廠，更符合我們的半導體市場情況。」
「而一旦這條路走通，那麼晶片製造在很大程度上就變成了一個基建項目，這才是我們我們最熟悉且擅長的專屬賽道。」
趙翔認真聽完徐源說的這些話，內心無比激動之下顯得臉色都有些紅潤。
作為科研人員，這兩天他一直在關注網上的事。
剛看到海外對國內5G領域的限制後，下意識便想到了自己的穩態微聚束。
只不過此念頭剛在腦海中浮現，很快便又被他主動拋之腦後。
因為在他看來，穩態微聚束還需要更多實驗，尚不到具體應用光刻製造晶片的程度。
畢竟國內並沒有適合的實驗條件。
要知道就連之前驗證，也是借用了柏林那邊的儲存環進行實驗。
如今位於燕京的最新代高能輻射同步光源，正在如火如荼的建造中，但在正式交付使用之前，穩態微聚束也沒法進一步研究實驗。
所以他並沒有向科學院，提出建造光刻工廠方案。
結果沒想到徐源竟主動提了出來，並且還初步通過了科學院的認可。
眼下海外集體不看好國產極紫外光刻機，都認為這個項目是不可能做到的事。
其中阿麥斯公司執行長卡傑迪，更是接受媒體採訪時，公開宣稱就算公開極紫外光刻機圖紙，也製造不出國產極紫外光刻機。
正所謂泥人還有三分火氣，更何況是他們這些科研人員。
看到新聞後心裡都憋著股氣。
想要為國內科研人員正名，讓海外看看，在半導體領域同樣能實現領先。
單從這個層面來看，建造光刻工廠無疑是最合適。
完全可以想像，當阿麥斯還在為，自己公司的極紫外光刻機驕傲，國內卻已經建造出了光刻工廠，甚至能直接影響到他們的訂單，到時候整個海外的臉色該會有多精彩可想而知。
也正是由於這些念頭，此刻趙翔越發意動。
很快便又忍不住拋出了一個問題。
「你講的這些我都明白，說時候我比任何人都希望看到光刻工廠的建立。」
「不過穩態微聚束還缺乏實驗，並且就算真的要建造光刻工廠，那也要先把穩態微聚束光源解決。」
徐源哪能不知道趙翔的真實想法，將對方這句話悉數聽進耳中後，頓時嘴角微微上揚浮現一抹笑容。
下秒也沒有賣什麼關子，直接開口回答：
「直接對穩態微聚束光源的EUV光刻實驗，同樣能夠研究穩態微聚束的特性。」
「至於光刻工廠需要的同步光源，我的想法是，對現在正建造的高能同步輻射光源裝置進行改造，增加其能夠進行光刻的功能。」
燕京高能同步輻射光源裝置，是科學院之前確定並實施的重大項目。
屬於國家的基礎科學建設。
當初正是因為趙翔團隊，藉助柏林儲存環成功驗證穩態微聚束概念，成功證明穩態微聚束的價值，加上楊老對建造高能同步輻射光源非常支持，所以項目才會進行的這麼順利。
但由於當初並沒有往光刻工廠考慮，畢竟此概念還處於實驗初期。
因此所建造的高能同步輻射光源裝置，主要用於相關的科學實驗。
不過如果現在進行適當改造的話，使之增加能用於EUV光刻的功能，可以讓其變成基礎科學實驗，和光刻工廠並存的重要科學設施。
他這樣想也是考慮到當下時間緊迫，確實沒有太多時間來建造同步輻射光源。
否則重新選擇合適地點建造的話，需要花費更長時間不說，經費問題也需要考慮，遠不如在高能同步輻射光源裝置基礎上改造。
這樣就算光刻工廠研究不成功，也照樣能繼續作為基礎科學設施使用。
不會給科學院造成多大損失。
能看出趙翔對這個想法也很支持，聞言立刻點頭附和了句。
「這確實是一個不錯的選擇。」
「並且改建起來也不會增添多少麻煩，說不定還能提前交付。」
說完整個人便又陷入到沉聲中，這次似乎是在心中權衡著自己決定。
最終。
趙翔終於像是下定了決心。
目光堅定的看向徐源，語氣斬釘截鐵的說：
「我同意你的方案。」
話音剛落。
下秒又變得緩和起來，不過臉上笑容卻絲毫沒有消失的跡象。
「說句實話也就是有徐院士你在，如果換做其他人來負責這個項目，我還真沒有什麼信心能搞出光刻廠。」
他這句話可一點沒有說錯。
當初在楊老的介紹下，他有幸能和徐源，共同研究驗證穩態微聚束。
要不是徐源幫了很多忙，穩態微聚束也沒這麼快進入到驗證階段。
相當於硬生生加快了穩態微聚束的研究。
儘管穩態微聚束還不算成熟，但和徐源合作，他還是想努力試試。
或許真有可能打造出國產首座光刻工廠，給全世界人們一個轟烈震撼。
如果換做其他人和他談這個事，那絕對不會選擇這樣說。
徐源對趙翔非常了解，知道對方肯定會同意，因此聽到這個答案後，臉上表情倒也沒有流露出驚訝之色。
立刻反應過來後，當即主動伸出手和對方握了下。
「我相信沒問題。」
向對方說這句話時，滿是胸有成竹。
因為就在這個時候，他赫然注意到眼前視野中浮現的光幕面板，新項目的進度條已然發生增長。
——
任務：穩態微聚束光刻工廠
學科：物理
進度：20%
結果：未完成
很顯然出現的百分之二十進度條，正是先前他們對穩態微聚束的研究成果。
或許之後的進度條增長會變得比較緩慢，但他相信結果肯定不會讓所有人失望。
而既然成功邀請趙翔，加入穩態微聚束光刻工廠的重點項目中，那麼接下來首先要做的事，便是完成詳細的項目方案。
並在科學院會議上討論研究。
只有通過正式立項後，才能著手開始實施。
並對高能同步輻射光源裝置改造。
徐源和趙翔本就負責穩態微聚束的研究，拿出相關方案自然不在話下。
於是接下來的半個月時間內，兩人便基本都在一起完善方案。
另外值得一提的是，期間兩人還特意去了科學館楊老的辦公室。
向其請教交流探討。
楊老雖然不建議國家建造粒子對撞機，但對於加速器光源非常支持。
之前也正是他給了趙翔很多幫助，所以才堅定了趙翔對穩態微聚束驗證的信心。
毫無疑問。
當楊老得知要通過進一步研究穩態微聚束，來另闢蹊徑建造光刻工廠，徹底解決國內高端晶片製造難的困境問題。
對此不但非常高興，還表示全力支持。
同樣深信不疑，相信國國內能在晶片製造上，走出屬於自己的道路。
成功建造出光刻工廠。
……
2017年1月20日。
周五。
距離除夕還剩一周時間。
今天上午，科學院充斥著嚴肅氛圍，連院裡的助理研究員都在臉上看不到笑容。
只有格外認真的神情。
在上次科學院緊急會議召開後，才僅僅過去半個月的時間。
便再次召開會議。
且參與人數，要遠遠超過上回。
這可以說還是從未見過的特殊情況。
足以證明眼下形式多緊迫。
在這種時候，緊張嚴肅才是主旋律，任誰也不會依舊笑容滿面渾身輕鬆。
「趙哥，放輕鬆點。」
「沒問題的。」
此刻科學院內的道路上，徐源拍了拍趙翔的肩膀兩人一起朝大廳趕去。
因為兩人比較熟絡，私下裡徐源都是以趙哥稱呼。
而今天他們參加這場會議，主要任務便是報告關於穩態微聚束光刻工廠方案，這決定著此後續項目能否順利的正常展開。
和上次緊急會議不同，這回提前進行了通知。
所以現場參加會議的人員數量，保守估計已經超過了上百人。
都是半導體相關領域內的院士資深教授。
趙翔雖也是正教授，但和徐源兩院院士的身份相比還要差不少。
另外面對這麼多院士教授作報告，趙翔心裏面難免會有些緊張。
「希望等下能順利吧。」
趙翔聽到徐源的寬慰，暫時頓住腳步，深吸一口氣說了這麼句，然後才又繼續邁動步伐。
既然確定要參加徐源的這個項目，盡最大努力爭取把光刻工廠給打造出來。
那他肯定是希望能夠成功。
若在報告現場，方案便直接被否定，無法通過。
心裏面肯定會難以接受。
有種辜負了徐源的信任的感覺。
因此感到壓力大，倒也屬於正常情況。
徐源對大廳只能說再熟悉不過，從首次在裡面參加新當選院士頒證儀式，到後面參加院裡的會議，今天又要到台上報告。
肯定是輕車熟路。
完全沒有什麼好擔心的。
不過他也對趙翔現在的心情表示理解，所以緊接著便又補充了句。
「放心吧，楊老也會參加上午的會議。」
是的。
礙於穩態微聚束光刻工廠的事，楊老也罕見的主動參加了今天的會議。
以他對穩態微聚束的信任和支持，方案肯定不會有什麼問題。
這點他很有自信。
就這樣沒過多久，兩人便順利到達了大廳。
推開門走到裡面，能看到已經有不少人到場，其中徐源還看到不少熟悉的身影。
其中便包括光電技術研究所的羅亞傑院士。
他們光電技術研究所，也要進行國產極紫外光刻機的研發工作，按照相關規定流程，今天也是要上台進行方案規劃報告的。
簡單來說就是拿出接下來研究的方向，以及目前正處於什麼階段。
明確之後院裡起碼能知道進度，好在人員和經費設備等問題上進行支持。
對此徐源也沒有閒著，趁會議還沒有開始，便帶著趙翔朝羅亞傑等人走過去打起招呼。
也算順便讓趙翔放鬆下精神。
能夠清楚看到，相比較上回見到羅亞傑，今天對方的臉色明顯變得更加憔悴。顯然這最近的半個月，沒少為極紫外光刻機的事操心憂慮。
但這也是沒有辦法的事情，海外既然已經把招式給擺了出來，不積極去應對又怎麼能行。
身為科研人員的驕傲還是有的。
也就在兩人寒暄著的時候，只見房門再次被人從外面推開。
走進來的正是楊老，以及院長白新周，和另外幾位負責人員。
「楊老好。」
大廳內的其他人，看到楊老居然也來了，驚喜之下連忙站起身打招呼。
臉上紛紛堆著笑容。
畢竟先不說楊老的年齡是場內最大的，單是在科學界的成就便值得其他人敬重。
……
伴隨白新周和楊老入場，接著也沒繼續浪費時間。
立刻便宣布會議正式開始。
按照流程白新周簡單講了幾句話後，便直接進入項目方案報告流程。
對此楊老並沒有發表講話，很明顯是專門為了穩態微聚束光刻工廠來的。
最終由光電技術研究所的羅亞傑，率先上台進行相關的報告。
儘管羅亞傑給大家分享了一個好消息，說到他們研究所關於22納米超分辨光刻裝備，最近在技術上迎來了新的突破之後，頓時引起台下不少人熱烈鼓掌。
但同時大家也都知道，就算攻克了22納米光刻機製造技術，距離阿麥斯的7納米極紫外光刻機，仍有著非常大的差距。
關鍵這中間的差距，實在讓人看不到追趕甚至超越的希望。
之後另外兩個進行光刻機研究的研究所，也上台進行了研究報告。
至於結果則和光電技術研究所方面差不多。
就算繼續研究下去，除非出現奇蹟，否則幾年內想追趕上海外完全不可能。
時間一分一秒流逝。
院長白新周臉色也變得難看起來。
如果說剛對外宣布，要自主研發國產極紫外光刻機的時候，還非常意氣風發鬥志昂揚，那麼此刻經過半個月的沉澱認知後，才真正感覺到那種巨大技術差距下面臨的無力感。
不過很快白新周突然想到了什麼，趁著其他人下去頓時把目光鎖定了徐源。
下秒直接開門見山道：
「徐院士。」
「我記得你上次提到穩態微聚束，其光源能夠用於EUV光刻。」
「現在有具體方案了嗎？」
徐源聽到自己的名字，這時候自然不會賣關子，當即便開口回答起來。
「是的院長。」
「這段時間我和驗證了穩態微聚束的趙翔教授，順利完成了關於光刻工廠的相關構想，我向院裡申請儘快開始此項目。」
說完便和趙翔一起，兩人配合著對已經完成的方案進行講解。
在場所有人中，有人了解過穩態微聚束，有的人則是首次聽到。
看見能讓徐源這位兩院院士如此重視，甚至還要求項目儘快立項實施，整個人的好奇心不由得被成功鉤了出來。
紛紛集中注意力朝徐源望去。
而隨著穩態微聚束光刻工廠的設想圖，在大廳內屏幕上完全展示出來時，大家目光瞬間便被吸引住。
「傳統的極紫外光刻機技術，大多數專利都掌握在阿麥斯手中，我們想要在這種情況下研究出，幾乎是一件很難短期做到的事。」
「所以我在想有沒有另闢蹊徑的辦法，能實現對高端晶片的製造。」
「最終穩態微聚束出現在了我的腦海。」
「理論上通過穩態微聚束光源，我們可以直接就建造出一座光刻工廠，利用不同波長的光源，去生產不同規格的晶片。」
「並且我相信未來國內，會是最大的半導體市場。」
「光刻工廠也符合我們的國情。」
……
徐源把大家的表情都看在眼裡，不過並沒有這時候去解釋什麼。
而是按照自己的節奏，對光刻工廠方案進行報告。
後面涉及到的相關理論技術等，則由趙翔配合順利完成。
待把整個方案報告完畢後，整個大廳陷入到了短暫的沉默之中，隨即反應過來台下頓時一陣騷亂。
大家都討論著這個方案。
「把晶片製造問題變成了我們最擅長的基建，這絕對是一個天才般的構想。」
「我們確實不用必須延續海外的道路，誰說生產晶片就必須要有光刻機，建造這樣的光刻工廠才適合我們。」
「這是一個全新的研究方向，應該一試。」
「如果光刻工廠真能實現的話，這對全球半導體行業都將是一場革命。」
「我現在都已經迫不及待，想要看到這座光刻工廠投入使用的樣子了，十萬個零件的極紫外光刻機我們有圖紙也製造不出來，但卻能建造比得上很多台光刻機的光刻工廠。」
「或許穩態微聚束光刻工廠，就是我們解決困境最大的轉機。」
……
板了半天臉的白新周，此刻總算有了些笑容，對徐源和趙翔提出的光刻工廠方案同樣很看好。
更何況以往只要徐源負責的項目，就還沒有過失敗的情況。
不過他並沒有立刻進行舉手決定，而是先側過臉詢問身旁楊老的看法。
「楊老。」
「關於穩態微聚束光刻工廠您怎麼看？」
楊老本來就是為了這件事，終於到自己的環節，自然是有什麼說什麼。
「小徐和趙翔早就拿這個方案給我看了，雖然仍有些技術問題需要解決，但我認為還是非常可行的。」
……
(本章完)