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447 完美的閉環

2024-08-28 19:41:07 作者: 森外
  等林本建出來,三人邊吃邊聊,衛向東正式向林本建發出邀請,希望他到大陸繼續研究紫外光(EUV)光刻,將來在眾芯科技專門成立一個部門由他負責,同樣可以給予眾芯科技的股份。寫到這裡我希望讀者記一下我們域名

  「林先生,如果你還有什麼要求,我們都可以談。」衛向東的態度很誠懇。

  林本建沉默了下開口說道:「衛先生,或許你不清楚,研發4納米的極紫外光(EUV)遙不可及而且耗費巨大,現在光刻機還卡在193納米這個這個階段。」

  「我知道,極紫外光(EUV)是光刻機發展的未來,而193納米這道坎終將會被邁過。」衛向東笑回答道。

  林本建聽了笑了起來:「衛先生,你是個局外人,竟然比我們這些局內人還充滿自信?」

  「或許正是因為我是個局外人,所以和你看問題角度不同,光刻機停留在193納米已經好幾年了吧?所謂厚積薄發該到突破的時候。不是有一種叫什麼浸潤式光刻嗎?我看那個法子就行。」衛向東說道。

  「浸潤式光刻?衛先生你也認為浸潤式可行?!」林本建的聲音突然變得激動起來。

  不是我認為行,是因為歷史最後證明這個法子行!

  衛向東實在不明白這個林本建為何如此激動,旁邊的張如京才告訴他,在80年代末期,林本建就提出隨著晶片精度越來越高,光刻機的精度最終會遇到瓶頸,可以用浸潤式原理解決這個問題。

  不過當時業界正要準備1000 納米的量產,後來林本建又幫IBM解決兩個世代以後的技術,也就是500納米;那時還有很多方法可用,不需要浸潤式這種頗為複雜的辦法。

  直到九十年代初期,光刻機的研發卡到了193納米,包括IBM、佳能等大型公司,都是朝著研發乾式157nm光刻機的道路奮力前進,根本沒有理睬到林本建的這個冷門的浸潤式!這讓他很是沮喪。

  所以,今天從一個外行嘴裡說出看好浸潤時,林本建感到有些激動。

  「衛先生,你怎麼認為浸潤式辦法可行,如何液體穿透率不高問題?」

  面對林本建急切的發問,衛向東愣住了。

  我懂個屁啊

  我只不過是穿越前在網上無聊時候看過一些這樣的文章,知道幾個術語而已何況又過去了這麼多年?

  哎

  早知道做做功課,在網上查查這方面的資料就好了,這不又到了2000年嗎?已經有網了。

  衛向東心裡暗暗後悔。

  看到衛向東略微尷尬的表情,林本建這才意識到,對方只是個企業家,科技方面純粹就是個門外漢!」

  沒準這個浸潤式也不知道從哪裡看到的資料,覺得好玩而已。

  林本建頓時有些失望,剛準備結束這個話題,突然又聽到衛向東蹦出一句話:「可以用水呀水不是很透明嗎?」

  「用水?水在193納米波長的折射率是得到46,但問題在於157納米波長下水的折射率是量不出來的,因為不透光」林本建立刻反駁。

  「為啥非要用157納米?那就用193納米下的折光唄。」衛向東小心翼翼回答道。

  「你不懂,現在的主流是157納米」林本建隨口回答了一句。


  「林先生,你忽略了一點,水的折射率在一般的波長是3多。所以在一般波長下用水做浸潤式的介質只能改進30%多,但若改成現在可用的最短波長193納米,46的折射率特性,水能把解析度增加46%,」

  張如京突然插話進來,他是搞晶片製造的,當然對光刻機熟悉的再也不能熟悉,現在聽到兩人的對話,心裡頓時有了啟發,插話進來。

  「嗯?」

  張如京的話,讓林本建一愣,思索了一陣突然叫道:「對呀我幹嘛學他們一樣死攻157納米?」

  「157納米只比193納米短23%,換句話說,只能把解析度提高23%,用193納米加水可以提高46%,幾乎是兩倍。因為波長只在水中變短為132納米。光在進入水前的波長是193納米,可以避開所有157納米的困難,能改進46%!」

  林本建越說越興奮,猛然站了起來:「兩位失陪了,我現在要去公司驗證我的想法!」說完匆匆走了出去。

  呵?

  「衛先生,搞科研都是這樣的怪人,你不必在意。」張如京笑著解釋道:「我也跟著過去看看,沒準能幫上他的忙。」

  「怎麼會呢」衛向東笑道:「張總,那我就不打攪你,林工的事,那就多靠你費心了。」

  「放心吧你來這一趟點醒了他,咱們的把握就更大。」張如京說著也匆匆走了出去。

  看著兩人消失的背影,衛向東這次長長舒了口氣,開始大口大口啃起漢堡包。

  嗯味道不錯嘛。

  這一刻他突然感到這平時最難吃的快餐竟然很香。

  還有外面的景色也很迷人嘛

  兩個月後,林本建關掉自己的在坦帕市的公司,告別妻子獨自踏上回國的道路。

  衛向東立刻任命他為眾芯科技光刻機研發中心主任,注資三個億,並且承諾將原屬於衛曹控股在眾芯科技股份里撥讓3%給他,並擔任眾芯科技的董事。

  為此,在有名的外灘華爾道夫酒店擺了一桌給林本建接風洗塵,陪同的除了張如京和眾芯科技的技術骨幹,還有聯海微電子的倪光南、弗拉基米、唐俊。

  大家都搞晶片的雖然側重點不同,但還是很談得來,一個個談笑風生說著各種衛向東聽不懂的術語。

  唐俊雖然也是搞技術出身,但現在主要是從事行政管理,和這幫技術大佬相比顯得有些遜色,剛好和衛向東竊竊私語。

  「衛董,你這一招厲害呀,你看看,聯海研發CPU晶片,而眾芯製造晶片,而林工研發製造晶片的光刻機,完美的閉環啊,來,我敬你一杯!」

  聽到唐俊略帶奉承的話,衛向東也沒客氣舉起酒杯。

  唐俊喝完酒繼續說道:「不過,你這一招,估計又有人難受了。呵呵」

  「你說的是章中謀吧?」衛向東微微一笑。

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