第330章 全球最好的老闆
海灣科技,該公司雖然成立多年,不過早年一直名聲不顯,甚至到目前為止,該公司在外界裡的名氣也不大。
只有半導體業內人士才比較熟悉,而外界的話,哪怕是很多科技愛好者也不太熟悉這家企業。
不像是原時空的某家光刻機廠商,很多科技愛好者都知道它的名字……因為光刻機被卡脖子了,然後一堆人就開始找國產代替,最後翻出來這家企業。
而當下智雲微電子為核心的華夏半導體製造產業,目前並沒有遭到太過嚴苛的光刻機封鎖,各類DUV浸潤式光刻機都可以採購到,唯一買不到的EUV光刻機,不僅僅智雲微電子買不到,外頭的台積電,英特爾,四星這幾家也買不到。
目前外界對EUV光刻機的普遍認知是,這是個很先進的東西,但是目前還不成熟,ASML暫時無法提供量產版。
當下的主流依舊是DUV浸潤式光刻機,而這玩意海灣科技自己就有,外頭也不封鎖……所以也就沒什麼普通人會去關注光刻機行業。
既然普通人,甚至科技愛好者都不太關注,這海灣科技的名聲自然也就不大了。
但是……普通人不知道,不了解,並不意味著這家企業不重要!
作為一家好幾年前就上了實體制裁清單的半導體設備製造企業,它的重要性和實力,那是經過了美財團認證的。
如果說智雲集團是電子產業,半導體產業的火車頭,那麼海灣科技就是製造火車頭發動機的關鍵企業。
其重要性已經不用再多說。
而這樣的一家重要企業,其規模自然也很大的,研發人員遍布全國多個主要城市,員工總數超過一萬人,主要業務是前道光刻機,後道光刻機,蝕刻機,離子注入機等一系列半導體關鍵設備。
以海灣科技為核心,仙女山控股體系下的兩百多家企業一起,再加上眾多國內的廠商,能夠為提供全套的半導體製造設備以及耗材。
目前的65納米工藝節點上,設備國產率已經達到了百分百,此外耗材的國產率也達到了百分百。
28-45納米這個DUV浸潤式光刻機,採用單次曝光的工藝階段上,設備國產率達到了百分之八十,並且主要核心設備都能自主可控,只有少部分非關鍵設備需要進口。
耗材方面則是國產率達到了百分之八十五,光刻膠等核心耗材都能自主化……
而22-10納米工藝這個節點,也就是DUV浸潤式光刻機雙重曝光的工藝階段上,這個工藝節點比較困難一些,所以國產率也相對低一些。
目前的設備國產率達到了百分之三四十五左右,耗材方面百分之六十左右。
同時仙女山控股體系正在持續推進國產化,要麼自己旗下的企業搞,要麼聯合國內的其他企業一起搞,。
全面的國產自主化正在穩步推進當中。
當然,這需要時間,不可能說一夜之間就能夠全部做到國產化的。
同時,即便是國產化的很多設備以及耗材其實做的比較勉強,屬於勉強可用,但是用於商業化競爭的話就不太行的那種。
然後……還存在著極其嚴重的專利問題,不管是光刻機還是其他什麼蝕刻機的設備,還是光刻膠這些耗材,基本都存在著侵犯國外同類廠商專利的情況!
這也導致了,仙女山控股體系下的很多半導體設備以及耗材,在國內倒是能夠順利申請專利並商用,但是在國外就申請不到專利,同時也無法出口商用了。
沒辦法,仙女山控股體系目前的核心目的是實現半導體產業的自主可控,自然是能抄就抄,抄不了就用商業間諜等各種方式強行抄。
總不能放著現有的道路不走,非要開闢全新,未知的技術路線啊。
這又不是什麼常規的商業產品。
至於專利,國之重器,誰跟你玩什麼專利啊。
為了獲得這些先進技術資料,銀河安保在外頭每年都得死不少人,還專利……
專利沒有,火箭筒倒是有不少。
在半導體製造領域,徐申學的策略一直都是非常明確的:先解決有無問題,其他的什麼專利啊,好不好用,商業化好不好搞都往後排。
先把東西給弄出來,然後再考慮其他問題。
而海灣科技就是這一策略下的產物,並且截止到目前來說,這一策略可以說相當成功。
靠著不折手段再加上科研系統的輔助,還有國內數十年的工業基礎積累,眾多研究所,企業,高校的配合。
然後還有徐申學瘋狂砸下去的數以百億美元計的投入。
最終,呈現在徐申學面前的,就是這些光刻機了以及其他幾種核心設備了。
王道林這個時候,正在給徐申學介紹他們的光刻機產品:「徐董,目前我們公司的前道光刻機產品,已經覆蓋了i-line光刻機,KRF光刻機,DUV乾式光刻機,DUV浸潤式光刻機一共四大類型,工藝製程可以覆蓋10納米到500納米。」
「其中我們的i-line光刻機已經推進到第二代,相對比第一代大幅度提升了產能,提升了效率,降低了晶片的製造成本,該光刻機用於成熟的350-500納米的晶片生產,具有成本低,效率高的特性,目前廣泛供應國內各廠商以及部分海外廠商,這款光刻機和我們的KRF光刻機,目前是沒有專利障礙的,所以也面向國外客戶供應,利用我們的低成本優勢也獲得了一定的海外市場,不過整體技術上還是對比國外的產品有差距,因此銷量一般。」
「KRF光刻機,同樣也進行了改進,推出了升級型號,提升了效率,這款光刻機用於成熟的130-250納米工藝,該款光刻機我們的智雲微電子裡以及其他國內廠商大量採用,使用反饋很不錯,乃是我們的諸多光刻機產品里,客戶反饋最好的一款,成本低,容易維護,生產效率好,所以這一款光刻機我們的出貨量還是比較大的,每年出貨超過四十台!」
「DUV乾式光刻機,我們的初代型號是HDUV-100,後續我們又推出了改進型號HDUV-200以及300,最新的HDUV-300型號,今年剛實現量產並供貨,進一步提升了套刻精度,為客戶提供更加良好的65工藝節點的生產,整體效率也進一步提升,降低晶片生產成本。」
「這系列光刻機,出貨量也比較大,預計今年我們能夠出貨大概五十台以上,主要供給智雲微電子,中芯等廠商以及其他幾家國內廠商,主要用於55-90納米工藝節點。」
「DUV浸潤式光刻機,是目前我們的核心產品,技術先進,售價也相對高昂,該系列光刻機也是目前我們公司的主要營收來源!」
前面幾代的光刻機雖然也還有市場,不過這些老舊光刻機已經賣不出什麼價了……畢竟落後晶片都賣不什麼價格了,製造出這些落後晶片的落後光刻機,同樣也賣不出什麼價來。
當然,雖然價格低一些,但是依舊還有市場,並且市場還不小。
因為成熟光刻機,它除了可以直接生產成熟工藝的晶片外,也可以作為先進工藝晶片的輔助設備使用。
小知識,晶片的生產過程里,往往需要經過很多次的光刻機曝光,而其中的大部分曝光工序對光刻機的要求不會太高,因此可以由成熟落後的光刻機進行操作,以節省製造成本。
只有在核心曝光工序的時候,才會使用最先進的HDUV-500型或類似ASMLDUV浸潤式光刻機。
後續如果採用了EUV光刻機,也是類似的情況,大部分對精度要求不高的曝光工序其實都是DUV光刻機進行的,只有最核心的工序部分才會由EUV光刻機來完成。
這也是為什麼先進工廠,需要先進頂級光刻機的同時,也需要採購大量成熟光刻機的緣故……因為這些是搭配在一起使用的。
如果所有的曝光工序都由頂級光刻機來完成,那將會是極大的浪費,成本會迅速暴漲。
這是晶片生產過程里的成本控制問題!
總之但凡有可能,晶圓廠都會想盡辦法使用落後成熟的光刻機來進行絕大部分工序,以節省成本。
這也是為什麼看似落後的光刻機還能有不小市場的緣故。
只是,市場雖然還有,但是價格不高就是了。
真正價格昂貴的,還得是DUV浸潤式光刻機!
海灣科技這邊也不例外,賣的最貴的還是HDUV-400/500這兩款光刻機。
尤其是後者可以玩兩次曝光,套刻精度達到三點五納米,其價格非常昂貴,如果加上各種配套服務,還有後續的技術支持等費用,一套下來得差不多四千萬美元。
至於很多中小晶圓廠期待光刻機國產化後,變成白菜價,千把萬美元就能拿下的就別做夢了……HDUV-500這種頂級工業產品,技術含量極高,加工難度極大,系統整合難度也大。
一套四千萬美元,這已經算是很便宜了。
如果是隔壁的ASML,同級別的光刻機則是要五千多萬美元一套。
而海灣科技的光刻機之所以價格便宜一些,也不是因為國產化後變良心。
純粹是自家的光刻機多少還有點差,生產效率不如隔壁的ASML光刻機,因此為了打消客戶的顧慮,把客戶的晶片製造成本控制在一個可控範圍內。
海灣科技在光刻機售價以及後續維護費用上都打了一些折扣,這樣晶圓廠綜合算下來後,使用海灣科技的光刻機才不會成本更高。
甚至還能擁有一些小優勢,當然,這個優勢並不明顯了。
海灣科技的光刻機,是要玩商業化的,是要賣出去的,所以價格不能太貴。
但是海灣科技的生產製造成本,以及研發成本也非常高昂,因此也需要維持比較高的售價來維持營收以及利潤。
一套四千萬美元的HDUV-500光刻機,下半年已經開始小批量出貨,供給智雲微電子。
然後加上同樣不便宜的HDUV-400光刻機。
這兩種DUV浸潤式光刻機,給海灣科技帶來了不小的營收。
而價格昂貴的設備,也不僅僅是前道光刻機,還有後道光刻機,以及蝕刻機等其他諸多的核心設備,而這些半導體設備里,甭管哪一種,那都是動不動都是幾百萬美元甚至幾千萬美元一套的昂貴設備。
並且是工藝節點越先進,這價格就越貴,並且是翻倍甚至好幾倍的價格差異。
晶圓廠的高昂投資成本,有相當一部分都是用來採購這些極其昂貴的,超級精密的設備了。
仙女山控股還會為有需求的晶圓廠,提供半導體設備設備打包服務,也就是客戶一整座晶圓廠所需要的關鍵設備,我都給你打包提供,不僅僅是海灣科技的十多種核心設備,也包括仙女山控股體系下其他廠商以及國內部分廠商的配套設備。
都給你直接列好名單甚至搭配好。
客戶只需要提供專業廠房以及支票,仙女山控股就能直接拉著一整套的設備過去,順帶幫你安裝,調試,後面還提供駐廠的技術支持服務等。
但這種打包服務也非常貴,哪怕是成熟工藝了,但動不動也是數億美元起步的。
如果是先進工藝,那更貴,基本幾十億美元以上!
主要是設備太貴,服務費倒是沒幾個錢!
而有技術的大型晶圓廠,則是不需要這種打包服務,他們會直接搭配生產線所需要的各種設備,然後自行採購並進行搭配,調試。
智雲微電子投資建設的滬城半導體基地第26號廠,主打的就是10-22工藝節點,乃是智雲微電子針對未來14納米工藝節點的廣泛市場,龐大需求而進行的產能擴充計劃。
該廠預計採用HDUV-500光刻機作為核心設備,主打的是雙重曝光工藝,可以生產10-22納米的晶片。
該廠其大量的關鍵設備的供應就是由仙女山控股旗下各企業所供應,整體採購價達到了二十五億美元,相當之誇張。
就這,還只是一部分設備,還有不少設備是仙女山控股這邊無法提供,需要從國內其他廠家或海外廠家進口的,這部分大概也需要十億美元左右。
全部設備投入,大概需要三十五億美元左右,占據整個晶圓廠投入的百分之七十五,而整個晶圓廠的投資,大概需要五十億美元左右。
而這個價格,還是建立在全面採用國產化設備,同時工廠土地成本很少,廠房建設成本也是採用國內的建築公司,廠房材料等也儘可能使用國產材料降低成本。
如果還是按照之前那樣,大部分設備都進口,考慮到近期設備漲價,通貨膨脹等因素,那麼這家工廠的投資成本至少得再增加十億美元以上。
這年頭的晶圓廠投入,是越來越昂貴了……因為現金設備成本越來越貴。
如先進光刻機這些東西,需求量小,產量低,意味著研發成本很難攤薄,同時製造成本也難以通過產量來拉低……最後搞的比戰鬥機這種軍品溢價還要高。
海灣科技的DUV浸潤式光刻機,預計一年產量才六十幾台……比戰鬥機的產量都低!
就這麼點產量,它就便宜不到哪裡去。
其他的核心設備也大多存在類似的情況,產量低,成本無法攤薄,售價極其昂貴。
滬城基地第二十六號廠里,預計採用的上千萬美元的設備除了光刻機,還有一大堆呢。
光刻機成本也只占據了晶圓廠成本的百分之二十五左右,還有百分之五十成本是其他設備構成的。
至於非設備成本,也就是廠房以及其他亂七八糟的成本全部加起來,只有百分之二十五……這個百分之二十五的比例是比較低的,台積電搞一家同級別的晶圓廠,非設備成本這些得占據百分之三十左右。
當然,一家晶圓廠里,成本最貴的還是光刻機,光這一種設備就占據百分之二十五的建廠成本。
王道林對自家的DUV浸潤式光刻機也是相當自豪的:「我們的DUV浸潤式光刻機,目前已經為國內六家客戶供貨,智雲微電子已經接收了三十台這種光刻機,並成功應用於產線上。」
「我們的HDUV-500型光刻機,在套刻精度上,三點五納米已經滿足10-22納米節點的雙重曝光工藝需求,同時我們的雙工台技術也有比較大的進步,進一步推高了生產效率!」
「而我們的HDUV-600型號光刻機,目前也已經完成了樣機製造,我們正在進行後期的各種測試環節,量產型號有望在明年第四季度出貨,以供應智雲微電子使用。」
「這款HDUV-600型光刻機,套刻精度達到兩點五納米,完全可以用來進行四重曝光,滿足智雲微電子提出的等效七納米工藝的生產需求!」
「目前我們在DUV光刻機領域的技術研發,主要也是集中在這款光刻機上!」
「除了眼前這些光刻機外,旁邊的是我們的蝕刻機,離子注入機等核心設備,也都是我們研發人員聯合國內眾多廠家,科研所合作研發的成果,每一款設備,都是國內頂級工業技術的完美體現!」
說實話,這些設備如何完美體現國內的頂級工業技術,徐申學不知道……
徐申學對工業基礎技術,其實了解的也不多,他前後兩輩子都是文科出身,這輩子雖然從事高科技行業,日常也會接觸一些高技術的東西,同時他自己現在還給自己掛著以個A級的科研名額漲腦子,有空,有需求的時候他也會了解,學習一些技術資料。
但是這種了解和學習依舊是極為有限的。
主要是海灣科技這邊的東西過於先進,並且涉及到的領域方方面面,徐申學說真的,想要弄明白這些東西有點吃力。
但是徐申學也不需要弄明白詳細的技術原理這些,他只需要知道這些設備可以用來生產先進的晶片就行了。
至於有什麼技術很重要,需要重點關注之類的,王道林也會重點給他說一說!
這一圈看下來,至少看了十多種設備,無一例外都是半導體製造業里的核心設備。
其中的不少技術已經非常不錯,比如後道光刻機技術就非常好,甚至都有些超前發展了……王道林說他們的HS350型後道光刻機,甚至都已經可以用來滿足等效七納米工藝的生產需求了,甚至都達到了國際領先水平,超過了競爭對手。
不僅僅自己使用,還提供給大量國外客戶使用,四星甚至都有採購……而且這種先進後道光刻機,海灣科技賣的很貴的,價格比國外同類型競品還高。
然後蝕刻機做的也比較好,基本上能夠滿足10-22納米工藝的需求,其中的先進型號已經能夠滿足10工藝,也算是超前發展了,同樣也供應國內外客戶。
其他的多種核心設備,基本也能滿足十四納米工藝或二十八納米工藝的需求。
」我們的目標,是爭取在後年,把這十多種核心設備的技術指標,全部提升到滿足等效10納米工藝的程度。」
」然後在這個基礎上,繼續向7納米工藝乃至未來的5納米工藝所需要的技術指標推進!」
「對此,我們的信心還是很大的!」
徐申學心中則是暗道:「二十個S級科研名額,百十多個A級科研名額都投在了仙女山控股體系下,如果你們還沒信心,我就要懷疑你們是不是有真材實料了。」
仙女山控股體系下的各企業,一向來是徐申學的科研名額的投入大戶,每個月新增加的成就點所購買的S級以及A級別的科研名額,基本都是給仙女山控股體系這邊用了。
智雲集團那邊除了智雲微電子外,其他項目組,子公司都已經好久沒有得到過A級以上的科研名額新增了,都是用原來的一些科研名額頂著,不過原來分配過去的高級別科研名額也不少,所以也夠用了。
看完了諸多這些現成的核心設備,徐申學又了解了一番EUV光刻機的研發進度。
王道林介紹道:「目前我們正在匯同各大子系統供應鏈企業,對EUV的多種關鍵技術進行集中攻關!」
「主要是EUV光源系統,高精度的弧形離軸反射鏡構成的光學系統,還有超高精度的真空雙工件台。」
「除了光刻機本身的技術外,我們也在配合仙女山控股體系下的其他兄弟公司,研發EUV掩膜版,沉積工藝等等。」
「而我們負責主導的EUV光刻機研發上,目前光源系統的進度是比較快速的,我們之前獲取了完整了EUV所使用極紫外光光源的技術資料,而經過我們數年的反覆嘗試和試驗,已經算是製造出來了極紫外光的光源!」
「但是距離實用性還有一定的差距,我們的雷射部分問題不大,但是在雷射轟擊錫滴的頻率還是不夠,無法達到技術資料上所需要的每秒五萬次。」
「我們已經針對這個技術難題牽頭,進行了技術攻關,目前進展還算順利,也許明年年中我們應該就能夠把這個光源給搞出來!」
「還有則是光源的反射鏡,因為極紫外光的特殊性,很多材料無法反射這種光線,而是會被吸收,因此我們還需要一種全新材料所製造的反射鏡來反射這種極紫外光!」
「這部分工作主要由南方光學所承擔,據我所知,他們已經嘗試研發出來一種鏡面材料,效果很不錯,如今的難題是卡在了及鏡面加工上,EUV光刻機所需要的鏡面精度,超過了DUV光刻機鏡面精度一個量級,他們正在和國內的幾家科研所進行合作,準備搞這個鏡面加工。」
「雙工台的話,這個難度倒是稍微低一些,我們如今的雙工台技術還是很不錯的,哪怕直接套用也勉強可行,只是會浪費EUV的5納米的光源所帶來的精度而已。」
「我們也正在開發精度更高,效率更高的雙工台,為EUV光刻機進行配套!」
「整體下來,我們的EUV光刻機目前所遇到的技術難題還是比較多,光源系統和雙工台系統都還算好,我們還是有把握的,不過這反射鏡就不太好搞了。」
「畢竟按照南方光學的說法,他們搞的這反射鏡系統,其精度幾乎等同於從地球發射一道雷射,然後準確命中月球上的一個足球,難度是相當大。」
「因為這個反射鏡系統比較難搞,我們的EUV光刻機的具體進度如何,也就要看這個反射鏡系統什麼時候能夠搞出來了。」
說這話的時候,王道林也是挺無奈的!
他們海灣科技說起來厲害,搞的是光刻機……但是他們其實就是個組裝廠,幾乎不生產任何的核心零部件。
光刻機的核心零部件都是依靠仙女山控股體系下的其他兄弟公司或國內其他廠商所供應的。
他們玩的是系統整合……當然,這部分技術難度也非常高,沒點過硬的實力也是無法做到的。
但系統整合的前提是零配件得技術性能達標啊。
要是零配件不行,他們海灣科技也是巧婦難為無米之炊。
海灣科技的很多技術人員,都一度喜歡自嘲自己是玩破爛的,用國內拉跨的零配件然後組裝出來還算不錯的光刻機或其他核心設備。
但是……前期是得有破爛零配件啊!
如果連破爛零配件都沒有,那還玩個毛線!
而現在在極紫外光反射鏡領域裡,就是屬於連破爛都沒有的程度,所以海灣科技這邊也很難搞。
徐申學聽罷後,則是心中默默記著了,回頭就給南方光學那邊多調幾個S級以及一批A級科研名額,進一步加強他們的核心研發人員的技術水平。
徐申學是無法給所有的重要項目的核心技術人員,都給弄一個S級科研名額的,別說S級了,A級都很難得到滿足。
絕大部分科研人員,其實獲得的還是最低級別的D級科研名額,這個級別的科研名額只要十點,便宜管飽。
徐申學甚至都是讓系統按照人頭髮的,只要是入職的技術人員人手一個。
畢竟人手一個也沒幾個成就點。
不像是S級的科研名額,一個就要十萬點,饒是徐申學積累這麼多年,手頭上如今也就三十幾個。
至於更高級別的SS級的科研名額,這個要一百萬,這個太貴了,徐申學倒是很想要,想要看看這種級別的科研名額,是不是能夠讓一個天才科學家,變成非人類科學家。
但是如今徐申學的成就點一年累計下來,也才幾十萬而已,而且還要分配給旗下大量企業的核心項目使用,很多項目,比如半導體設備和耗材領域裡的不少項目都非常緊迫的,拖不得。
所以能存下來的不多,按照徐申學的計劃,今年先攢個三十萬成就點,然後明年自己縮衣節食,把成就點全部攢起來。
然後湊個一百萬成就點,兌換一個SS級別的科研名額。
而這樣的重量級科研名額,使用人選自然也不能是隨便什麼普通人,必須是真正的頂級天才科學家才行,普通科學家用它都是浪費!
而且也不可能是固定給某一個人使用的,這種頂級科研名額,必須輪流使用,使用在關鍵項目的技術突破階段里,這樣才能夠發揮出來最大的價值。
為此,徐申學也已經開始讓手底下的人事部門,開始在手底下的眾多頂級科學家,部分潛力巨大的中層天才科學家們進行各種審查,考核,然後挑選出來各領域裡的天才科學家。
作為未來僅有的一個SS級別科研名額的輪流載體!
不僅僅未來的SS級別科研名額是如此做的,其實就連現在的S級的科研名額,也是根據項目需求情況輪換使用,很少有人能夠長期使用一個S級科研名額的。
倒是A級的科研名額固定使用的比較多,至於B級的名額以及C級別和D級,那就更是如此,基本都是固定使用,徐申學甚至都懶得親自關注。
而是讓系統根據旗下企業的技術人員的級別,然後直接批量發放或收回。
徐申學旗下的所有公司,技術人員都會有一個專門的技術級別,這個級別等級除了作為工資定級的依據之一外,也是作為系統發放科研名額的依據。
系統將會根據技術人員的技術級別,自動發放或回收科研名額。
畢竟徐申學旗下的各企業的技術人員,加起來幾十萬人呢,他哪有這時間和精力挨個發放啊,都是直接委託給系統發放或回收的。
徐申學親自關注的,都是S級別以及A級別的科研名額的發放,這部分少一些,全部加起來也才四百多個,勉強管得過來。
這四百多個高級別名額,除了他自己占用了一個A級名額外,其他的S級或A級名額,都是用在重要項目的核心技術人員身上,乃是推動徐申學旗下各企業的技術研發進步的核心力量。
外界都以為徐申學手底下的企業研發進度這麼快,是因為徐申學砸錢足夠多,或者是智雲集團等公司有非常良好,獨特的研發氛圍,又或者是良好的薪資待遇,榮譽激勵等等。
但是上述這些,雖然都是原因之一,但是更重要的還是科研系統的存在。
尤其是高級別的科研名額,其對技術的推進作用是巨大的。
只不過這一點外界不知道,徐申學也不可能對外透露。
所以外界就只能認為徐申學手底下的企業研發快,是因為薪資豐厚,工作氛圍好,榮譽感強,徐申學人格魅力強,管理模式優秀,對新技術極其敏銳等等。
被譽為全球範圍里最好的科技企業的老闆:給錢多,尊重技術人員,還能帶著技術人員獲得技術突破,研發出來成果,並且自己也能獲得技術上的提升。
很多技術人員都很樂意在徐申學的企業里,為徐申學工作的。